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第45章 攻克镜片二（第1页）

忽然听到传说中的名字，路阳肃然起敬，难怪白教授每次提到23所脸上都充满敬意。

次日清早，路阳赶到光机所时，工作间站满了人，专家小组，23所，大连光源的同事都回来了，还有几个新面孔，看站位便知道那是23所两位教授的助手，大连光源那边也从两人增加到5人。

所有人视线都看向净室内，穿着洁净服的工作人员正在安装设备，看样子也差不多到了尾声。

白学礼拿着手上的资料，正在一一比对，看来是昨晚光机所这边连夜加班安装的。

“廖老，这样一来，按照您的要求，这条加工线算是完成了，有70%的设备跟资料中的相同，剩下的替代也满足要求。”

人群中的廖老，今天看起来更加精神，路阳站在他身边，手里拿着笔跟笔记本，再次变成学生模样。

“辛苦了，先测试吧！”

接着白学礼的两名助手抱过一沓文件，给现场所有人每人发了一本。

“各位，这是镜片加工生产线的说明文档，对应的设备、工艺、技术说明都做了图文标注，今天我们的任务就是两项，第一项是加工线的测试，第二项是1纳米镜片的打磨。”

说完白学礼对加工线的同事点了下头，示意开始。

设备启动，监控画面也传来了内间的操作画面，只见工作人员拿出预先生产好的镜片，送入加工线，开始了第一道流程，物理打磨。

镜片看起来跟12英寸的硅片相同大小，1英寸为2.54厘米，12英寸约30厘米。

众人视线集中到显示大屏上，凝重中带有丝期待。

“行了，测试而已，一块镜片的加工至少需要几个小时，在那之前再给大家复述下接下来我们的工作安排。”

廖老那洪亮高亢的声音响起。

路阳一直不明白，廖老的身型算是所有人中最矮小的一人，但其声音，气场无人能及，无论多嘈杂的环境，你总能听清他说的话。

“第一步，长春光学这边完成整个EUV光刻机的光学系统，需要完成三个主要目标：1.镜片与反射镜制作，2.镜头组安装，3.完成光学系统验证，这第一步需要23所以及大连光源这边的同事协助完成。”

“第二步，光刻机的整体组装，需要到申城微电子那边去完成，现在那边的同事正在用dUV的技术进行调试，我们都清楚浸润式光刻原理非常复杂，新成立的华芯光电正在全力配合。”

目前的两种光刻机，不管是dUV，还是EUV，基本上都采用浸润式原理。

简单总结就是在光刻机中，采用水为介质，让193nm波长的光线，进入水中进行折射后，让波长变成132纳米，从而实现从45nm-10nm级别的光刻。

浸润式光刻技术是台鸡电林教授于2002年提出的，让193纳米的紫外光通过水的折射变成波长为132纳米的光源，在这之前全世界都无法寻找到波长小于193纳米的光源。